半導體薄膜干什麼用的
Ⅰ 半導體是什麼做什麼用的
自然界的物質按導電能力可分為導體、絕緣體和半導體三類。半導體材料是指室溫下導電性介於導電材料和絕緣材料之間的一類功能材料。靠電子和空穴兩種載流子實現導電,室溫時電阻率一般在10-5~107歐·米之間。通常電阻率隨溫度升高而增大;若摻入活性雜質或用光、射線輻照,可使其電阻率有幾個數量級的變化。1906年製成了碳化硅檢波器。
1947年發明晶體管以後,半導體材料作為一個獨立的材料領域得到了很大的發展,並成為電子工業和高技術領域中不可缺少的材料。特性和參數半導體材料的導電性對某些微量雜質極敏感。純度很高的半導體材料稱為本徵半導體,常溫下其電阻率很高,是電的不良導體。在高純半導體材料中摻入適當雜質後,由於雜質原子提供導電載流子,使材料的電阻率大為降低。這種摻雜半導體常稱為雜質半導體。雜質半導體靠導帶電子導電的稱N型半導體,靠價帶空穴導電的稱P型半導體。
不同類型半導體間接觸(構成PN結)或半導體與金屬接觸時,因電子(或空穴)濃度差而產生擴散,在接觸處形成位壘,因而這類接觸具有單向導電性。利用PN結的單向導電性,可以製成具有不同功能的半導體器件,如二極體、三極體、晶閘管等。
此外,半導體材料的導電性對外界條件(如熱、光、電、磁等因素)的變化非常敏感,據此可以製造各種敏感元件,用於信息轉換。半導體材料的特性參數有禁帶寬度、電阻率、載流子遷移率、非平衡載流子壽命和位錯密度。禁帶寬度由半導體的電子態、原子組態決定,反映組成這種材料的原子中價電子從束縛狀態激發到自由狀態所需的能量。電阻率、載流子遷移率反映材料的導電能力。非平衡載流子壽命反映半導體材料在外界作用(如光或電場)下內部載流子由非平衡狀態向平衡狀態過渡的弛豫特性。位錯是晶體中最常見的一類缺陷。位錯密度用來衡量半導體單晶材料晶格完整性的程度,對於非晶態半導體材料,則沒有這一參數。半導體材料的特性參數不僅能反映半導體材料與其他非半導體材料之間的差別,更重要的是能反映各種半導體材料之間甚至同一種材料在不同情況下,其特性的量值差別。
半導體材料的種類
常用的半導體材料分為元素半導體和化合物半導體。元素半導體是由單一元素製成的半導體材料。主要有硅、鍺、硒等,以硅、鍺應用最廣。化合物半導體分為二元系、三元系、多元系和有機化合物半導體。二元系化合物半導體有Ⅲ-Ⅴ族(如砷化鎵、磷化鎵、磷化銦等)、Ⅱ-Ⅵ族(如硫化鎘、硒化鎘、碲化鋅、硫化鋅等)、Ⅳ-Ⅵ族(如硫化鉛、硒化鉛等)、Ⅳ-Ⅳ族(如碳化硅)化合物。三元系和多元系化合物半導體主要為三元和多元固溶體,如鎵鋁砷固溶體、鎵鍺砷磷固溶體等。有機化合物半導體有萘、蒽、聚丙烯腈等,還處於研究階段。
此外,還有非晶態和液態半導體材料,這類半導體與晶態半導體的最大區別是不具有嚴格周期性排列的晶體結構。制備不同的半導體器件對半導體材料有不同的形態要求,包括單晶的切片、磨片、拋光片、薄膜等。半導體材料的不同形態要求對應不同的加工工藝。常用的半導體材料制備工藝有提純、單晶的制備和薄膜外延生長。
所有的半導體材料都需要對原料進行提純,要求的純度在6個「9」以上,最高達11個「9」以上。提純的方法分兩大類,一類是不改變材料的化學組成進行提純,稱為物理提純;另一類是把元素先變成化合物進行提純,再將提純後的化合物還原成元素,稱為化學提純。物理提純的方法有真空蒸發、區域精製、拉晶提純等,使用最多的是區域精製。化學提純的主要方法有電解、絡合、萃娶精餾等,使用最多的是精餾。
由於每一種方法都有一定的局限性,因此常使用幾種提純方法相結合的工藝流程以獲得合格的材料。絕大多數半導體器件是在單晶片或以單晶片為襯底的外延片上作出的。成批量的半導體單晶都是用熔體生長法製成的。直拉法應用最廣,80%的硅單晶、大部分鍺單晶和銻化銦單晶是用此法生產的,其中硅單晶的最大直徑已達300毫米。在熔體中通入磁場的直拉法稱為磁控拉晶法,用此法已生產出高均勻性硅單晶。在坩堝熔體表面加入液體覆蓋劑稱液封直拉法,用此法拉制砷化鎵、磷化鎵、磷化銦等分解壓較大的單晶。懸浮區熔法的熔體不與容器接觸,用此法生長高純硅單晶。
水平區熔法用以生產鍺單晶。水平定向結晶法主要用於制備砷化鎵單晶,而垂直定向結晶法用於制備碲化鎘、砷化鎵。用各種方法生產的體單晶再經過晶體定向、滾磨、作參考面、切片、磨片、倒角、拋光、腐蝕、清洗、檢測、封裝等全部或部分工序以提供相應的晶片。在單晶襯底上生長單晶薄膜稱為外延。外延的方法有氣相、液相、固相、分子束外延等。
工業生產使用的主要是化學氣相外延,其次是液相外延。金屬有機化合物氣相外延和分子束外延則用於制備量子阱及超晶格等微結構。非晶、微晶、多晶薄膜多在玻璃、陶瓷、金屬等襯底上用不同類型的化學氣相沉積、磁控濺射等方法製成。
半導體和絕緣體之間的差異主要來自兩者的能帶(band)寬度不同。絕緣體的能帶比半導體寬,意即絕緣體價帶中的載子必須獲得比在半導體中更高的能量才能跳過能帶,進入傳導帶中。室溫下的半導體導電性有如絕緣體,只有極少數的載子具有足夠的能量進入傳導帶。因此,對於一個在相同電場下的純質半導體(intrinsicsemiconctor)和絕緣體會有類似的電特性,不過半導體的能帶寬度小於絕緣體也意味著半導體的導電性更容易受到控制而改變。
純質半導體的電氣特性可以藉由植入雜質的過程而永久改變,這個過程通常稱為「摻雜」(doping)。依照摻雜所使用的雜質不同,摻雜後的半導體原子周圍可能會多出一個電子或一個電洞,而讓半導體材料的導電特性變得與原本不同。如果摻雜進入半導體的雜質濃度夠高,半導體也可能會表現出如同金屬導體般的電性。在摻雜了不同極性雜質的半導體接面處會有一個內建電場(built-inelectricfield),內建電場和許多半導體元件的操作原理息息相關。
除了藉由摻雜的過程永久改變電性外,半導體亦可因為施加於其上的電場改變而動態地變化。半導體材料也因為這樣的特性,很適合用來作為電路元件,例如晶體管。晶體管屬於主動式的(有源)半導體元件(activesemiconctordevices),當主動元件和被動式的(無源)半導體元件(passivesemiconctordevices)如電阻器(resistor)或是電容器(capacitor)組合起來時,可以用來設計各式各樣的集成電路產品,例如微處理器。
當電子從傳導帶掉回價帶時,減少的能量可能會以光的形式釋放出來。這種過程是製造發光二極體(light-emittingdiode,LED)以及半導體激光(semiconctorlaser)的基礎,在商業應用上都有舉足輕重的地位。而相反地,半導體也可以吸收光子,透過光電效應而激發出在價帶的電子,產生電訊號。這即是光探測器(photodetector)的來源,在光纖通訊(fiber-opticcommunications)或是太陽能電池(solarcell)的領域是最重要的元件。
半導體有可能是單一元素組成,例如硅。也可以是兩種或是多種元素的化合物(compound),常見的化合物半導體有砷化鎵(galliumarsenide,GaAs)或是磷化鋁銦鎵(,AlGaInP)等。合金(alloy)也是半導體材料的來源之一,如鍺硅(silicongermanium,SiGe)或是砷化鎵鋁(aluminiumgalliumarsenide,AlGaAs)等。
Ⅱ 在讀研究生目前的話做什麼類的材料的半導體薄膜比較好
主要是起支撐和改善薄膜特性的作用。薄膜生長在襯底上,襯底材料性質和襯底內表面形狀對薄容膜的特性有很大的影響,因為薄膜一般厚度尺寸在納米至微米之間,要求襯底表面有超高平整度;薄膜和襯底的結合也是一個非常重要的方面,如果兩者晶格不匹配,則在薄膜形成初期階段會形成一個較長的過渡區域。
Ⅲ 薄膜半導體有哪些分類,求大神講解
透明導電薄膜。雖然目前電阻率等性能仍較低,但由於材料成本低、製造工藝簡單,因此有望替代ITO用作液晶顯示器等的透明導電薄膜。 空心陰極法生長半導體薄膜.
以非晶態半導體材料為主體製成的固態電子器件。非晶態半導體雖然在整體上分子排列無序,但是仍具有單晶體的微觀結構,因此具有許多特殊的性質。1975年,英國W.G.斯皮爾在輝光放電分解硅烷法制備的非晶硅薄膜中摻雜成功,使非晶硅薄膜的電阻率變化10個數量級,促進非晶態半導體器件的開發和應用。同單晶材料相比,非晶態半導體材料制備工藝簡單,對襯底結構無特殊要求,易於大面積生長,摻雜後電阻率變化大,可以製成多種器件。非晶硅太陽能電池吸收系數大,轉換效率高,面積大,已應用到計算器、電子表等商品中。非晶硅薄膜場效應管陣列可用作大面積液晶平面顯示屏的定址開關。利用某些硫系非晶態半導體材料的結構轉變來記錄和存儲光電信息的器件已應用於計算機或控制系統中。利用非晶態薄膜的電荷存儲和光電導特性可製成用於靜態圖像光電轉換的靜電復印機感光體和用於動態圖像光電轉換的電視攝像管的靶面。
具有半導體性質的非晶態材料。非晶態半導體是半導體的一個重要部分。50年代B.T.科洛米耶茨等人開始了對硫系玻璃的研究,當時很少有人注意,直到1968年S.R.奧弗申斯基關於用硫系薄膜製作開關器件的專利發表以後,才引起人們對非晶態半導體的興趣。1975年W.E.斯皮爾等人在硅烷輝光放電分解制備的非晶硅中實現了摻雜效應,使控制電導和製造PN結成為可能,從而為非晶硅材料的應用開辟了廣闊的前景。在理論方面,P.W.安德森和莫脫,N.F.建立了非晶態半導體的電子理論,並因而榮獲1977年的諾貝爾物理學獎。目前無論在理論方面,還是在應用方面,非晶態半導體的研究正在很快地發展著。
分類 目前主要的非晶態半導體有兩大類。
硫系玻璃。含硫族元素的非晶態半導體。例如As-Se、As-S,通常的制備方法是熔體冷卻或汽相沉積。
四面體鍵非晶態半導體。如非晶Si、Ge、GaAs等,此類材料的非晶態不能用熔體冷卻的辦法來獲得,只能用薄膜淀積的辦法(如蒸發、濺射、輝光放電或化學汽相淀積等),只要襯底溫度足夠低,淀積的薄膜就是非晶態結構。四面體鍵非晶態半導體材料的性質,與制備的工藝方法和工藝條件密切相關。圖1 不同方法制備非晶硅的光吸收系數 給出了不同制備工藝的非晶硅光吸收系數譜,其中a、b制備工藝是硅烷輝光放電分解,襯底溫度分別為500K和300K,c制備工藝是濺射,d制備工藝為蒸發。非晶硅的導電性質和光電導性質也與制備工藝密切相關。其實,硅烷輝光放電法制備的非晶硅中,含有大量H,有時又稱為非晶的硅氫合金;不同工藝條件,氫含量不同,直接影響到材料的性質。與此相反,硫系玻璃的性質與制備方法關系不大。圖2 汽相淀積濺射薄膜和熔體急冷成塊體AsSeTe的光吸收系數譜 給出了一個典型的實例,用熔體冷卻和濺射的辦法制備的AsSeTe樣品,它們的光吸收系數譜具有相同的曲線。
非晶態半導體的電子結構 非晶態與晶態半導體具有類似的基本能帶結構,也有導帶、價帶和禁帶(見固體的能帶)。材料的基本能帶結構主要取決於原子附近的狀況,可以用化學鍵模型作定性的解釋。以四面體鍵的非晶Ge、Si為例,Ge、Si中四個價電子經sp雜化,近鄰原子的價電子之間形成共價鍵,其成鍵態對應於價帶;反鍵態對應於導帶。無論是Ge、Si的晶態還是非晶態,基本結合方式是相同的,只是在非晶態中鍵角和鍵長有一定程度的畸變,因而它們的基本能帶結構是相類似的。然而,非晶態半導體中的電子態與晶態比較也有著本質的區別。晶態半導體的結構是周期有序的,或者說具有平移對稱性,電子波函數是布洛赫函數,波矢是與平移對稱性相聯系的量子數,非晶態半導體不存在有周期性, 不再是好的量子數。晶態半導體中電子的運動是比較自由的,電子運動的平均自由程遠大於原子間距;非晶態半導體中結構缺陷的畸變使得電子的平均自由程大大減小,當平均自由程接近原子間距的數量級時,在晶態半導體中建立起來的電子漂移運動的概念就變得沒有意義了。非晶態半導體能帶邊態密度的變化不像晶態那樣陡,而是拖有不同程度的帶尾(如圖3 非晶態半導體的態密度與能量的關系 所示)。非晶態半導體能帶中的電子態分為兩類:一類稱為擴展態,另一類為局域態。處在擴展態的每個電子,為整個固體所共有,可以在固體整個尺度內找到;它在外場中運動類似於晶體中
Ⅳ 寬禁帶半導體薄膜可以用來做什麼
寬禁帶半導體性能遠優於第一代的Si 和第二代的GaAs。Si 和GaAs 材料製成半導版體器件由於材料本身的限制已經達到發展權極限,難以滿足當今對功率半導體性能的需求。以寬禁帶為主要特徵的第三代半導體以更高的擊穿電廠、更高的熱導率、更高的電子飽和漂移速率和更高的抗輻射能力,開始在軍事、航空航天、LED 照明等領域嶄露頭角。http://ic.big-bit.com/
Ⅳ 半導體 wafer mounter 晶圓貼膜機 是干什麼用的
用藍膜或UV膜將晶圓與FRAME固定在一起的設備。
半自動晶圓貼膜機由CHUCK TABLE,,FRAME CUTTER,WIND&REWIND,COVER,ELECTRICAL CONTROL SYSTEM等幾部分組成。
設備有以下幾個特點:
一、直線切割刀位置可以根據不同的FRAME進行自動變換,這樣能夠有效的省膜。每次直線切割後,後面的膜由真空吸盤,吸起。
二、WAFER CHUCK與FRAME CHUCK是分離式的。WAFER CHUCK可以上下調節,這樣可以合理地處理不同厚度的WAFER, 整體的CHUCK TABLE還有浮動,這樣貼膜時候,對WAFER有保護作用.
三、 貼膜機構中,MOUNTING滾輪是用汽缸來控制的,,對汽缸力的大小可以人為進行調節,這樣貼膜力的大小,可以根據客戶產品要求確定.
四 、機器上氣動元件採用SMC或KOGANEL品牌.保證其質量及使用壽命.機器上機械方面的外購件以優質品牌知名產品為主
五、 旋轉切割刀在6.8寸轉換時,方便,另外切割易於操作,同時切割穩定.
六、上料機構中,膜的裝入與卸下,比較方便,只要旋幾下張緊旋扭,便可以實現上下料的操作.同時料桶上有刻線,便於膜裝入後,位置的確定.
七、本設備是TABLE移動,產品放上TABLE後,TABLE在伺服馬達的驅動下移進到工作位置後,貼膜滾輪將膜壓下(壓到FRAME上),TABLE再移動出來,這樣膜自動被貼在產品上。
Ⅵ 超薄的半導體薄膜被科學家研製出來,有怎樣的作用
我們的世界在不斷的發展之中,現在新材料的研究和開發是一個熱門的話題,因為一種新材料的問世,無疑會帶來巨大的好處。新材料的發現能夠讓科學技術得到進步,同時新材料能夠成為一個國家的戰略物資,所以現在各個國家都在加緊研究新材料。
不過這些技術依舊沒有成熟起來,目前製造的這些材料造價十分的昂貴,所以根本沒有辦法讓老百姓使用。所以科學家現在開始在節約成本方面進行努力,當然這條路還很長,所以我們還要等待很久。不過隨著科學技術的不斷進步,總有一天我們會看這些產品。
Ⅶ 半導體鍍膜工藝是什麼
鍍膜工藝一般是復PVD和CVD。
PVD:物理氣相沉積制。通過plasm轟擊金屬靶材(金靶,銅靶,Al,Cr.....),金屬原子脫離靶材,落在wafer表明,形成薄膜。
CVD:化學氣相沉積。這個是通過化學反應,在晶圓表面張氧化薄膜。