半導體需要什麼機器製造
1. 請問半導體製造過程中那些環節需要真空設備
需要用的地方主要有蒸發,濺射,PECVD,干法刻蝕等,望採納
2. 半導體晶元製造有哪些工藝流程,會用到那些設備,這些設備的生產商有哪些
主要是對硅晶片(抄Si
wafer)的一系列處理
1、清洗
->
2、在晶片上鋪一層所需要的半導體
->
3、加上掩膜
->
4、把不要的部分腐蝕掉
->
5、清洗
重復2到5就可以得到所需要的晶元了
Cleaning
->
Deposition
->
Mask
Deposition
->
Etching
->
Cleaning
1、中的清洗過程中會用到硝酸,氫氟酸等酸,用於清洗有機物和無機物的污染
其中Deposition過程可能會用到多種器材,比如HELIOS等~
Mask
Deposition過程中需要很多器材,包括Spinner,Hot
plate,EVG等等~
根據材料不同或者需要的工藝精度不同,Etching也分很多器材,可以使用專門的液體做Wet
etch,或者用離子做Plasma
Etching等
最後一部的Cleaning一般是用Develpoer洗掉之前覆蓋的掩模~
多數器材都是Oxford
Instruments出的
具體建議你去多看看相關的英文書,這里說不清楚。。
3. 半導體的主要材料是什麼
半導體:常溫下導電性能介於導體(conctor)與絕緣體(insulator)之間的材料專。
主要材料:
元素半屬導體:鍺和硅是最常用的元素半導體;
化合物半導體:包括第Ⅲ和第Ⅴ族化合物(砷化鎵、磷化鎵等)、第Ⅱ和第Ⅵ族化合物( 硫化鎘、硫化鋅等)、氧化物(錳、鉻、鐵、銅的氧化物),以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體(鎵鋁砷、鎵砷磷等)。
技術科研領域:
(1)集成電路
它是半導體技術發展中最活躍的一個領域,已發展到大規模集成的階段。在幾平方毫米的矽片上能製作幾萬只晶體管,可在一片矽片上製成一台微信息處理器,或完成其它較復雜的電路功能。集成電路的發展方向是實現更高的集成度和微功耗,並使信息處理速度達到微微秒級。
(2)微波器件
半導體微波器件包括接收、控制和發射器件等。毫米波段以下的接收器件已廣泛使用。在厘米波段,發射器件的功率已達到數瓦,人們正在通過研製新器件、發展新技術來獲得更大的輸出功率。
(3)光電子器件
半導體發光、攝象器件和激光器件的發展使光電子器件成為一個重要的領域。它們的應用范圍主要是:光通信、數碼顯示、圖象接收、光集成等。
4. 開半導體工廠需要什麼
半導體製作工藝,化工知,識電子技術知識,企業管理知識,很重要一點精通各種各樣的電路圖,企業管理跟看電路圖是一樣的,當然啟動資金,合作夥伴不可或缺!
5. 晶元是用什麼機器生產的
全世界能生產晶元的廠家不多 一般都是用精度極高的光刀 雕刻半導體的吧 我對這了解的不多 因為這是人家吃飯的技術
6. 半導體封裝測試方面,都需要用到哪些設備
基本封裝設備:
B/G: 磨片
lamination:貼膜
DA: 貼片
W/B:打線
Mold:塑封
marking:列印
S/G:切割
基本測試設備:
B/I 設備: 對產版品進行信賴權性評價
test設備: 對產品進行電性測試;
LIS: 對產品外觀進行檢查
7. 誰知道晶元是用什麼機器造的啊
-- CPU的製造工藝和流程 CPU 發展至今已經有二十多年的歷史,其中製造 CPU 的工藝技術也經過了長足的發展,以前的製造工藝比較粗糙,而且對於讀者了解最新的技術也沒有多大幫助,所以我們舍之不談,用今天比較新的製造工藝來向大家闡述。 許多對電腦知識略知一二的朋友大多會知道 CPU 裡面最重要的東西就是晶體管了,提高 CPU 的速度,最重要的一點說白了就是如何在相同的CPU面積裡面放進去更加多的晶體管。由於 CPU 實在太小,太精密,裡面組成了數目相當多的晶體管,所以人手是絕對不可能完成的(笑),只能夠通過光刻工藝來進行加工的。這就是為什麼一塊 CPU 裡面為什麼可以數量如此之多的晶體管。晶體管其實就是一個雙位的開關:即開和關。如果您回憶起基本計算的時代,那就是一台計算機需要進行工作的全部。兩種選擇,開和關,對於機器來說即0和1。那麼如何製作一個CPU 呢? 以下我們用英特爾為例子告訴大家。 首先:取出一張利用激光器剛剛從類似干香腸一樣的硅柱上切割下來的矽片,它的直徑約為 20cm。除了 CPU 之外,英特爾還可以在每一矽片上製作數百個微處理器。每一個微處理器都不足一平方厘米。 接著就是矽片鍍膜了。相信學過化學的朋友都知道硅(Si)這個絕佳的半導體材料,它可以電腦裡面最最重要的元素啊!在矽片表面增加一層由我們的老朋友二氧化硅(SiO2)構成的絕緣層。這是通過 CPU 能夠導電的基礎。其次就輪到光刻膠了,在矽片上面增加了二氧化硅之後,隨後在其上鍍上一種稱為「光刻膠」的材料。這種材料在經過紫外線照射後會變軟、變粘。然後就是光刻掩膜,在我們考慮製造工藝前很久,就早有一非常聰明的美國人在腦子裡面設計出了 CPU,並且想盡方法使其按他們的設計意圖工作。CPU 電路設計的照相掩膜貼放在光刻膠的上方。照相字後自然要曝光「沖曬」了,我們將於是將掩膜和矽片曝光於紫外線。這就象是放大機中的一張底片。該掩膜允許光線照射到矽片上的某區域而不能照射到另一區域,這就形成了該設計的潛在映像。 一切都辦妥了之後,就要到相當重要的刻蝕工藝出場了。我們採用一種溶液將光線照射後完全變軟變粘的光刻膠「塊」除去,這就露出了其下的二氧化硅。本工藝的最後部分是除去曝露的二氧化硅以及殘余的光刻膠。對每層電路都要重復該光刻掩膜和刻蝕工藝,這得由所生產的 CPU 的復雜程度來確定。盡管所有這些聽起來象來自「星球大戰」的高科技,但刻蝕實際上是一種非常古老的工藝。幾個世紀以前,該工藝最初是被藝術家們用來在紙上、紡織品上甚至在樹木上創作精彩繪畫的。在微處理器的生產過程中,該照相刻蝕工藝可以依照電路圖形刻蝕成導電細條,其厚度比人的一根頭發絲還細許多倍。 接下來就是摻雜工藝。現在我們從矽片上已曝露的區域開始,首先倒入一化學離子混合液中。這一工藝改變摻雜區的導電方式,使得每個晶體管可以通、斷、或攜帶數據。將此工藝一次又一次地重復,以製成該 CPU 的許多層。不同層可通過開啟窗口聯接起來。電子以高達 400MHz 或更高的速度在不同的層面間流上流下,窗口是通過使用掩膜重復掩膜、刻蝕步驟開啟的。窗口開啟後就可以填充他們了。窗口中填充的是種最普通的金屬-鋁。終於接近尾聲了,我們把完工的晶體管接入自動測試設備中,這個設備每秒可作一萬次檢測,以確保它能正常工作。在通過所有的測試後必須將其封入一個陶瓷的或塑料的封殼中,這樣它就可以很容易地裝在一塊電路板上了。 目前,單單 Intel 具有 14 家晶元製造廠。盡管微處理器的基本原料是沙子(提煉硅),但工廠內空氣中的一粒灰塵就可能毀掉成千上萬的晶元。因此生產 CPU 的環境需非常干凈。事實上,工廠中生產晶元的超凈化室比醫院內的手術室還要潔凈1萬倍。「一級」的超凈化室最為潔凈,每平方英尺只有一粒灰塵。為達到如此一個無菌的環境而採用的技術多令人難以置信。在每一個超凈化室里,空氣每分鍾要徹底更換一次。空氣從天花板壓入,從地板吸出。凈化室內部的氣壓稍高於外部氣壓。這樣,如果凈化室中出現裂縫,那麼內部的潔凈空氣也會通過裂縫溜走-防止受污染的空氣流入。 但這只是事情一半。在晶元製造廠里,Intel 有上千名員工。他們都穿著特殊的稱為「兔裝」的工作服。兔裝是由一種特殊的非棉絨、抗靜電纖維製成的,它可以防止灰塵、臟物和其它污染損壞生產中的計算機晶元。這兔裝有適合每一個人的各種尺寸以及一系列顏色,甚至於白色。員工可以將兔裝穿在在普通衣服的外面,但必須經過含有 54 個單獨步驟的嚴格著裝程序。而且每一次進入和離開超凈化室都必須重復這個程序。因此,進入凈化室之後就會停留一陣。在製造車間里,英特爾的技術專家們切割矽片,並准備印刻電路模板等一系列復雜程序。這個步驟將矽片變成了一個半導體,它可以象晶體管一樣有打開和關閉兩種狀態。這些打開和關閉的狀態對應於數字電碼。把成千上萬個晶體管集成在英特爾的微處理器上,能表示成千上萬個電碼,這樣您的電腦就能處理一些非常復雜的軟體公式了
8. 製造半導體生產設備的設備是用什麼製造出來的
單晶爐,外延爐,擴散爐,集成電路測試儀,光刻機,晶圓挑片機,晶圓舉片機,X射線單晶版定向儀,超聲波權鋁絲焊接機,超聲波金絲球焊接機,中束流離子源,鍍膜機,清洗機,蝕刻機,刺晶座
你去查一下這些設備就大概知道了。
9. 生產晶元需要哪些設備
1.光刻機
設備功能:在半導體基材上(矽片)表面勻膠,將掩模版上的圖形轉移光刻膠上,把器件或電路結構臨時「復制」到矽片上。
2、ICP等離子體刻蝕系統
設備功能:一種或多種氣體原子或分子混合於反應腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體,一方面等離子體中的活性基團與待刻蝕表面材料發生化學反應,生成可揮發產物;另一方面等離子體中的離子在偏壓的作用下被引導和加速,實現對待刻蝕表面進行定向的腐蝕和加速腐蝕。
3、反應離子刻蝕系統
設備功能:平板電極間施加高頻電壓,產生數百微米厚的離子層,放入式樣,離子高速撞擊式樣,實現化學反應刻蝕和物理撞擊,實現半導體的加工成型。
4、離子注入機
設備功能:對半導體表面附近區域進行摻雜。
5、單晶爐
設備功能:熔融半導體材料,拉單晶,為後續半導體器件製造,提供單晶體的半導體晶坯
6、晶圓劃片機
該晶元生產設備功能:把晶圓,切割成小片的Die。
7、晶片減薄機
設備功能:通過拋磨,把晶片厚度減薄。
8、氣相外延爐
氣相外延爐設備功能:為氣相外延生長提供特定的工藝環境,實現在單晶上,生長與單晶晶相具有對應關系的薄層晶體,為單晶沉底實現功能化做基礎准備。氣相外延即化學氣相沉積的一種特殊工藝,其生長薄層的晶體結構是單晶襯底的延續,而且與襯底的晶向保持對應的關系。
9、分子束外延系統
此晶元生產設備功能:分子束外延系統,提供在沉底表面按特定生長薄膜的工藝設備;分子束外延工藝,是一種制備單晶薄膜的技術,它是在適當的襯底與合適的條件下,沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜。
10、氧化爐(VDF)
設備功能:提供要求的氧化氛圍,實現半導體預期設計的氧化處理過程,為半導體材料進行氧化處理,是半導體加工過程的不可缺少的一個環節。
11、低壓化學氣相淀積系統
設備名稱:低壓化學氣相淀積系統
設備功能:把含有構成薄膜元素的氣態反應劑或液態反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入LPCVD設備的反應室,在襯底表面發生化學反應生成薄膜。
12、等離子體增強化學氣相淀積系統
設備功能:在沉積室利用輝光放電,使其電離後在襯底上進行化學反應,沉積半導體薄膜材料。
13、磁控濺射台
晶元生產設備功能:通過二極濺射中一個平行於靶表面的封閉磁場,和靶表面上形成的正交電磁場,把二次電子束縛在靶表面特定區域,實現高離子密度和高能量的電離,把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。
14、化學機械拋光機
設備功能:通過機械研磨和化學液體溶解「腐蝕」的綜合作用,對被研磨體(半導體)進行研磨拋光。
15、引線鍵合機
設備功能:把半導體晶元上的Pad與管腳上的Pad,用導電金屬線(金絲)鏈接起來。
16、探針測試台
改晶元生產設備功能:通過探針與半導體器件的pad接觸,進行電學測試,檢測半導體的性能指標是否符合設計性能要求。
10. 從事半導體製造行業需要哪些基礎知識
在學樣里學好專業課就行了,另外外文一定要好.智商也重要!平時練練腦筋急轉彎.上上論壇icksy.com.cn