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半導體前製程用到哪些氣體

發布時間: 2021-03-09 03:20:52

半導體封裝工藝過程中用到高純氮氣,高純氫氣,二氧化碳和壓縮空氣主要有什麼用

氮氣是保護氣體,防止工藝過程中發生氧化,主要是在合金燒結時或者高溫導熱膠版固化權時應用,
氫氣有還原性,可以使氧化層還原,但是氫氣有一定危險性,我知道用得較多的是氮氫混合氣體,這樣安全些,
二氧化碳,這個不了解
壓縮空氣,主要是用在工藝過程中,比如工作台的吸附,一些設備必須有壓空才能工作。

了解得不多,希望有幫助

㈡ 聽說半導體行業能用到氣體減壓器,是半導體行業的哪些設備或者產品要用到呢設備名稱是什麼

半導體製程的每一步基本都要用到氣體, 氣體在進入機台前都要經過減壓, 而且一個機台版幾路甚至是十幾路氣體權.
往前端, 從氣源到機台這一部分, 叫hook up, 二次配管, 裡面也有很多.
再往前, 特氣有氣櫃, 氣櫃里有減壓器. 大宗氣體有氣站, 氣站上也有.

不過, 這些減壓器, 全是進口的, 國產沒戲, 完全不能用. 既然你管它叫減壓器, 想必是國產的才會這么稱呼吧.

㈢ 哪些工藝會用到工業氣體(氧氣、氮氣、氬氣)

氣割氣焊工藝要用到氧氣,鋼廠氧吹冶煉式藝要用到氧氣.
部分檢漏工藝要用到氮氣,有些產品包裝要用到氮氣.
氬弧焊工藝要用到氬氣

㈣ 半導體製造cvd過程會用到什麼氣體

看你需要做啥樣的半導體 氣體只是原料來源 是可選的
比如四氫化硅啊
有時候還需要氫氣用於還原反應啊

㈤ 半導體行業使用的氣體具體用途是什麼

做Si集成電路的fab里,你列舉的這些都用的到。
硅烷和笑氣,長氧化硅時候用內。
HCL:清洗容wafer的時候用。
CF4:蝕刻Si和氧化硅的時候用。
SF6:蝕刻Si的時候用。
其他還有BCl3, Cl2, Ar差不多都是蝕刻的使用。

㈥ 半導體的應用領域有哪些

試想過你的生活缺少了數字是什麼概念嗎?那將是一個混亂的世界,無論是你的手機號碼、你的身份證號碼、還是你家的門牌號,這些全部都是用數字表達的!電子游戲、電子郵件、數碼音樂、數碼照片、多媒體光碟、網路會議、遠程教學、網上購物、電子銀行和電子貨幣……幾乎一切的東西都可以用0和1來表示。電腦和互聯網的出現讓人們有了更大的想像和施展的空間,我們的生活就在這簡單的「0」「1」之間變得豐富起來、靈活起來、愉悅起來,音像製品、手機、攝像機、數碼相機、MP3、袖珍播放機、DVD播放機、PDA、多媒體、多功能游戲機、ISDN等新潮電子產品逐漸被人們所認識和接受,數字化被我們隨身攜帶著,從而擁有了更加多變的視聽新感受,音樂和感覺在數字化生活中靜靜流淌……

數字生活已成為信息化時代的特徵,它改變著人類生活的方方面面,在此背後,隱藏著新材料的巨大功勛,新材料是數字生活的「幕後英雄」。

計算機是數字生活中的重要設備,計算機的核心部件是中央處理器(CPU)和存儲器(RAM),它們是以大規模集成電路為基礎建造起來的,而這些集成電路都是由半導體材料做成的,Si片是第一代半導體材料,集成電路中採用的Si片必須要有大的直徑、高的晶體完整性、高的幾何精度和高的潔凈度。為了使集成電路具有高效率、低能耗、高速度的性能,相繼發展了GaAs、InP等第二代半導體單晶材料。SiC、GaN、ZnSe、金剛石等第三代寬禁帶半導體材料、SiGe/Si、SOI(Silicon On Insulator)等新型硅基材料、超晶格量子阱材料可製作高溫(300~500°C)、高頻、高功率、抗輻射以及藍綠光、紫外光的發光器件和探測器件,從而大幅度地提高原有硅集成電路的性能,是未來半導體材料的重要發展方向。

人機交換,常常需要將各種形式的信息,如文字、數據、圖形、圖像和活動圖像顯示出來。靜止信息的顯示手段最常用的如列印機、復印機、傳真機和掃描儀等,一般稱為信息的輸出和輸入設備。為提高解析度以及輸入和輸出的速度,需要發展高靈敏度和穩定的感光材料,例如激光列印機和復印機上的感光鼓材料,目前使用的是無機的硒合金和有機的酞菁染料。顯示活動圖像信息的主要部件是陰極射線管(CRT),廣泛地應用在計算機終端顯示器和平面電視上,CRT目前採用的電致發光材料,大都使用稀土摻雜(Tb3+、Sn3+、Eu3+等)和過渡元素摻雜(Mn2+)的硫化物(ZnS、CdS等)和氧化物(Y2O3、YAlO3)等無機材料。

為了減小CRT龐大的體積,信息顯示的趨勢是高解析度、大顯示容量、平板化、薄型化和大型化,為此主要採用了液晶顯示技術(LCD)、場致發射顯示技術(FED)、等離子體顯示技術(PDP)和發光二極體顯示技術(LED)等平板顯示技術,廣泛應用在高清晰度電視(HDTV)、電視電話、計算機(台式或可移動式)顯示器、汽車用及個人數字化終端顯示等應用目標上,CRT不再是一支獨秀,而是形成與各種平板顯示器百花爭艷的局面。

在液晶顯示技術中採用的液晶材料早已在手錶、計算器、筆記本電腦、攝像機中得到應用,液晶材料較早使用的是苯基環己烷類、環己基環己烷類、吡啶類等向列相和手征相材料,後來發展了鐵電型(FE)液晶,響應時間在微秒級,但鐵電液晶的穩定性差,只能用分支法(side-chain)來改進。目前趨向開發反鐵電液晶,因為它們的穩定性較高。

液晶顯示材料在大屏幕顯示中有一定的困難,目前作為大屏幕顯示的主要候選對象為等離子體顯示器(PDP)和發光二極體(LED)。PDP所用的熒光粉為摻稀土的鋇鋁氧化物。用類金剛石材料作冷陰極和稀土離子摻雜的氧化物作發光材料,推動場發射顯示(FED)的發展。製作高亮度發光二極體的半導體材料主要為發紅、橙、黃色的GaAs基和GaP基外延材料、發藍光的GaN基和ZnSe基外延材料等。

由於網際網路和多媒體技術的迅速發展,人類要處理、傳輸和存儲超高信息容量達太(兆兆)數字位(Tb,1012bits),超高速信息流每秒達太位(Tb/s),可以說人類已經進入了太位信息時代。現代的信息存儲方式多種多樣,以計算機系統存儲為例,存儲方式分為隨機內存儲、在線外存儲、離線外存儲和離線存儲。隨機內存儲器要求集成度高、數據存取速度快,因此一直以大規模集成的微電子技術為基礎的半導體動態隨機存儲器(DRAM)為主,256兆位的隨機動態存儲器的晶體管超過2億個。外存儲大都採用磁記錄方式,磁存儲介質的主要形式為磁帶、磁泡、軟磁碟和硬磁碟。磁存儲密度的提高主要依賴於磁介質材料的改進,相繼採用了磁性氧化物(如g-Fe2O3、CrO2、金屬磁粉等)、鐵氧體系、超細磁性氧化物粉末、化學電鍍鈷鎳合金或真空濺射蒸鍍Co基合金連續磁性薄膜介質等材料,磁存儲的信息存儲量從而有了很大的提高。固體(閃)存儲器(flash memory)是不揮發可擦寫的存儲器,是基於半導體二極體的集成電路,比較緊湊和堅固,可以在內存與外存間插入使用。記錄磁頭鐵芯材料一般用飽和磁感大的軟磁材料,如80Ni-20Fe、Co-Zr-Nb、Fe-Ta-C、45Ni-55Fe、Fe-Ni-N、Fe-Si、Fe-Si-Ni、67Co-10Ni-23Fe等。近年來發展起來的巨磁阻(GMR)材料,在一定的磁場下電阻急劇減小,一般減小幅度比通常磁性金屬與合金的磁電阻數值約高10餘倍。GMR一般由自由層/導電層/釘扎層/反強磁性層構成,其中自由層可為Ni-Fe、Ni-Fe/Co、Co-Fe等強磁體材料,在其兩端安置有Co-Cr-Pt等永磁體薄膜,導電層為數nm的銅薄膜,釘扎層為數nm的軟磁Co合金,磁化固定層用5~40nm的Ni-O、Ni-Mn、Mn-In、Fe-Cr-Pt、Cr-Mn-Pt、Fe-Mn等反強磁體,並加Ru/Co層的積層自由結構。採用GMR效應的讀出磁頭,將磁碟記錄密度一下子提高了近二十倍,因此巨磁阻效應的研究對發展磁存儲有著非常重要的意義。

聲視領域內激光唱片和激光唱機的興起,得益於光存儲技術的巨大發展,光碟存貯是通過調制激光束以光點的形式把信息編碼記錄在光學圓盤鍍膜介質中。與磁存儲技術相比,光碟存儲技術具有存儲容量大、存儲壽命長;非接觸式讀/寫和擦,光頭不會磨損或劃傷盤面,因此光碟系統可靠,可以自由更換;經多次讀寫載噪比(CNR)不降低。光碟存儲技術經過CD(Compact Disk)、DVD(Digital Versatile Disk)發展到將來的高密度DVD(HD-DVD)、超高密度DVD(SHD-DVD)過程中,存儲介質材料是關鍵,一次寫入的光碟材料以燒蝕型(Tc合金薄膜,Se-Tc非晶薄膜等)和相變型(Te-Ge-Sb非晶薄膜、AgInTeSb系薄膜、摻雜的ZnO薄膜、推拉型偶氮染料、亞酞菁染料)為主,可擦重寫光碟材料以磁光型(GdCo、TeFe非晶薄膜、BiMnSiAl薄膜、稀土摻雜的石榴石系YIG、Co-Pt多層薄膜)為主。光碟存儲的密度取決於激光管的波長,DVD盤使用的InGaAlP紅色激光管(波長650nm)時,直徑12cm的盤每面存儲為4.7千兆位元組(GB),而使用ZnSe(波長515nm)可達12GB,將來採用GaN激光管(波長410nm),存儲密度可達18GB。要讀寫光碟里的信息,必須採用高功率半導體激光器,所用的激光二極體採用化合物半導體GaAs、GaN等材料。

激光器除了在光碟存儲應用之外,在光通信中的作用也是眾所周知的。由於有了低閾值、低功耗、長壽命及快響應的半導體激光器,使光纖通信成為現實。光通訊就是由電信號通過半導體激光器變為光信號,而後通過光導纖維作長距離傳輸,最後再由光信號變為電信號為人接收。光纖所傳輸的光信號是由激光器發出的,常用的為半導體激光器,所用材料為GaAs、GaAlAs、GaInAsP、InGaAlP、GaSb等。在接受端所用的光探測器也為半導體材料。缺少光導纖維,光通信也只能是「紙上談兵」。低損耗的光學纖維是光纖通信的關鍵材料,目前所用的光學纖維感測材料主要有低損耗石英玻璃、氟化物玻璃和Ga2S3為基礎的硫化物玻璃和塑料光纖等,1公斤石英為主的光纖可代替成噸的銅鋁電纜。光纖通信的出現是信息傳輸的一場革命,信息容量大、重量輕、佔用空間小、抗電磁干擾、串話少、保密性強,是光纖通信的優點。光纖通信的高速發展為現代信息高速公路的建設和開通起到了至關重要的作用。

除了有線傳播外,信息的傳播還採用無線的方式。在無線傳播中最引人注目的發展是行動電話。行動電話的用戶愈多,所使用的頻率愈高,現在正向千兆周的頻率過渡,電話機的微波發射與接收亦是靠半導體晶體管來實現,其中部分Si晶體管正在被GaAs晶體管所取代。在手機中廣泛採用的高頻聲表面波SAW(Surface Acoustic Wave)及體聲波BAW(Bulk Surface Acoustic Wave)器件中的壓電材料為a-SiO2、LiNbO3、LiTaO3、Li2B4O7、KNbO3、La3Ga5SiO14等壓電晶體及ZnO/Al2O3和SiO2/ZnO/DLC/Si等高聲速薄膜材料,採用的微波介質陶瓷材料則集中在BaO-TiO2體系、BaO-Ln2O3-TiO2(Ln=La,Pr,Nd,Sm,Eu,Gd)體系、復合鈣鈦礦A(B1/3B¢2/3)O3體系(A=Ba,Sr;B=Mg,Zn,Co,Ni,Mn;B¢=Nb,Ta)和鉛基復合鈣鈦礦體系等材料上。

隨著智能化儀器儀表對高精度熱敏器件需求的日益擴大,以及手持電話、掌上電腦PDA、筆記本電腦和其它攜帶型信息及通信設備的迅速普及,進一步帶動了溫度感測器和熱敏電阻的大量需求,負溫度系數(NTC)熱敏電阻是由Co、Mn、Ni、Cu、Fe、Al等金屬氧化物混合燒結而成,其阻值隨溫度的升高呈指數型下降,阻值-溫度系數一般在百分之幾,這一卓越的靈敏度使其能夠探測極小的溫度變化。正溫度系數(PTC)熱敏電阻一般都是由BaTiO3材料添加少量的稀土元素經高溫燒結的敏感陶瓷製成的,這種材料在溫度上升到居里溫度點時,其阻值會以指數形式陡然增加,通常阻值-溫度變化率在20~40%之間。前者大量使用在鎳鎘、鎳氫及鋰電池的快速充電、液晶顯示器(LCD)圖像對比度調節、蜂窩式電話和移動通信系統中大量採用使用的溫度補償型晶體振盪器等中,來進行溫度補償,以保證器件性能穩定;此外還在計算機中的微電機、照相機鏡頭聚焦電機、列印機的列印頭、軟盤的伺服控制器和袖珍播放機的驅動器等中,發現它的身影。後者可以用於過流保護、發熱器、彩電和監視器的消磁、袖珍壓縮機電機的啟動延遲、防止筆記本電腦常效應管(FET)的熱擊穿等。

為了保證信息運行的通暢,還有許多材料在默默地作著貢獻,例如,用於製作綠色電池的材料有:鎳氫電池的正、負極材料用MH合金和Ni(OH)2材料、鋰離子電池的正、負極用LiCoO2、LiMn2O4和MCMB碳材料等電極材料;行動電話、PC機以及諸如數碼相機、MD播放機/錄音機、DVD設備和游戲機等數字音/視頻設備等中鉭電容器所用材料;現代永磁材料Fe14Nd2B在製造永磁電極、磁性軸承、耳機及微波裝置等方面有十分重要的用途;印刷電路板(PCB)及超薄高、低介電損耗的新型覆銅板(CCL)用材料;環氧模塑料、氧化鋁和氮化鋁陶瓷是半導體和集成電路晶元的封裝材料;集成電路用關鍵結構與工藝輔助材料(高純試劑、特種氣體、塑封料、引線框架材料等),不一而足,這些在浩瀚的材料世界裡星光燦爛的新材料,正在數字生活里發揮著不可或缺的作用。

隨著科技的發展,大規模集成電路將迎來深亞微米(0.1mm)硅微電子技術時代,小於0.1mm的線條就屬於納米范疇,它的線寬就已與電子的德布羅意數相近,電子在器件內部的輸運散射也將呈現量子化特性,因而器件的設計將面臨一系列來自器件工作原理和工藝技術的棘手問題,導致常說的硅微電子技術的「極限」。由於光子的速度比電子速度快得多,光的頻率比無線電的頻率高得多,為提高傳輸速度和載波密度,信息的載體由電子到光子是必然趨勢。目前已經發展了許多種激光晶體和光電子材料,如Nd:YAG、Nd:YLF、Ho:YAG、Er:YAG、Ho:Cr:Tm:YAG、Er:YAG、Ho:Cr:Tm:YLF、Ti:Al2O3、YVO4、Nd:YVO4、Ti:Al2O3、KDP、KTP、BBO、BGO、LBO、LiNbO3、K(Ta,Nb)O3、Fe:KnBO3、BaTiO3、LAP等,所有這些材料將為以光通信、光存儲、光電顯示為主的光電子技術產業作出貢獻。隨著信息材料由電子材料、微電子材料、光電子材料向光子材料發展,將會出現單電子存儲器、納米晶元、量子計算機、全光數字計算機、超導電腦、化學電腦、生物電腦和神經電腦等納米電腦,將會極大地影響著人類的數字生活。

本世紀以來,以數字化通信(Digital Communication)、數字化交換(Digital Switching)、數字化處理(Digital Processing)技術為主的數字化生活(Digital Life)正在向我們招手,一步步地向我們走來——清晨,MP3音箱播放出悅耳的晨曲,催我們按時起床;上班途中,打開隨身攜帶的筆記本電腦,進行新一天的工作安排;上班以後,通過互聯網召開網路會議、開展遠程教學和實時辦公;在下班之前,我們遠程啟動家裡的空調和濕度調節器,保證家中室溫適宜;下班途中,打開手機,悠然自在觀看精彩的影視節目;進家門前,我們接收網上訂購的貨物;回到家中,和有線電視台進行互動,觀看和下載喜歡的影視節目和歌曲,製作多媒體,也可進入社區互聯網,上網瀏覽新聞了解天氣……這一切看上去是不是很奇妙?似乎遙不可及。其實它正在和將要發生在我們身邊,隨著新一代家用電腦和互聯網的出現,如此美好數字生活將成為現實。當享受數字生活的同時,飲水思源,請不要忘記為此作出巨大貢獻的功臣——絢麗多彩的新材料世界!

㈦ 什麼是電子氣體電子氣體有哪些

電子氣體
氣體工業名詞,半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用於外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,LSI(大規模集成電路)級,VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。
近幾年來,智研數據研究中心隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子氣體市場需求量明顯增長,電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。據了解,我國在國產化方面取得可喜進展:國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳"有價無貨"時代也宣告結束,高純氯化氫已成功打開國內市場。

電子氣體(Electronicgases)是超大規模集成電路、平面顯示器件,化合物半導體器件,太陽能電池,光纖等電子工業生產不可缺少的原材料,它們廣泛應用於薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規模集成電路工廠的晶圓片製造過程中,全部工藝步驟超過450道,其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿足工藝製程的需求,在充分保證工藝和產品安全使用的前提下,將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產設備的用氣點。根據氣體性質和供應包裝的不同,一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。

㈧ 關於半導體材料氣---急最好10點之前得出答案

純氮氣是半導體工業不可缺少的原料氣和保護氣
純氬氣在單晶硅的拉制,半導體、版大規模集成電路生產中是必權要的
高純氦主要用於半導體器件的生產

電子氣體 (E lect ron icga ses) 半導體工業用的氣體統稱電子氣體.按其門類可分為純氣,高純氣和半導體特殊材料氣體三大類.特殊材料氣體主要用於外延,摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣.電子氣體是特種氣體的一個重要分支.電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級,L S I(大規模集成電路)級,VL S I(超大規模集成電路)級和U L S I(特大規模集成電路)級.
摻雜氣體(Dopant Gases) 在半導體器件和集成電路製造中,將某種或某些雜質摻入半導體材料內,以使材料具有所需要的導電類型和一定的電阻率,用來製造PN結,電阻,埋層等.摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體.主要包括砷烷,磷烷,三氟化磷,五氟化磷,三氟化砷,五氟化砷,三氯化硼和乙硼烷等.通常將摻雜源與運載氣體(如氬氣和氮氣)在源櫃中混合,混合後氣流連續流入擴散爐內環繞晶片四周,在晶片表面沉積上化合物摻雜劑,進而與硅反應生成摻雜金屬而徙動進入硅.

㈨ 在半導體製程中Disposition職責是什麼

半導體產業中很多製造流程叫Disposition ,例如: 晶圓廠的fab 就有四個Disposition , 1. ME Disposition 2. Mask Disposition 3. PE Disposition 4. Background checks Disposition.
每一個都有不同操作職回責,想加入半答導體行業樣樣要學

㈩ 特種氣體的分類有哪些

特種氣體(Specialtygases)門類繁多,通常可區分為電子氣體,標准氣,環保氣,醫用氣,焊接氣,殺菌氣等,廣泛用於電子,電力,石油化工采礦,鋼鐵,有色金屬冶煉,熱力工程,生化,環境監測,醫學研究及診斷,食品保鮮等領域。

特種氣體興起於60年代中期,作為基礎化工材料,主要運用於大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、醫學科學、臨床診斷、醫葯消毒、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展,其應用范圍也越來越廣泛。在國民經濟高速發展及下遊行業的強勁需求下,我國特種氣體行業在2006年後進入快速發展階段,年均增速達到17%以上。2011年,國內特種氣體行業產值規模為296.88億元,較上年增長22.15%;銷售收入為297.52億元,較上年增長21.64%,詳《中國特種氣體行業產銷需求與投資預測分析報告》。

目前,國內共有特種氣體生產企業150餘家,多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。外資通過收購、新設等方式建立氣體公司,占據著行業主導地位。2010年,德國德林公司、法國液化空氣集團、美國普萊克斯集團等設立的獨資和合資企業以32.38%的企業數量占據著國內特種氣體市場65.90%的銷售市場和83.08%的利潤市場。中國氣體行業的競爭實質上是國際氣體行業巨頭與國內民族氣體工業企業的競爭。

特種氣體門類繁多,通常可區分為電子氣體、標准氣、環保氣、醫用氣、焊接氣、殺菌氣等,廣泛用於電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環境監測、醫學研究及診斷、食品保鮮等領域。

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