半導體真空設備是什麼
⑴ 半導體行業需要真空泵做什麼,真空泵在半導體中的應用有哪些
應用很多,沒有真空泵,那個廠就沒閥生產,簡單可以分為: PECVD ,氣相物理(化學)沉積,工藝真空:用於一些真空吸筆,測試設備,機械手等, 清掃真空:自動化的清潔設備 等等
⑵ 半導體真空設備中5E-6 Torr是多少其中5代表什麼意思
1 Torr≈133.322 Pa=1.33322*10^-4MPa (兆帕)
Torr:
壓強單位,以前翻譯為「乇」現翻譯為「托」。
原本的 1 Torr 是指「將幼細回直管內的水答銀頂高一毫米之壓力」,而正常之大氣壓力可以將水銀升高 760 mm ,故此將1Torr定為大氣壓力的 1/760 倍。
所以
5 E-6 Torr ≈ 666.61 E-6 Pa =6.6661 E-3 mPa (毫帕!不是兆帕)
5就是被乘數 ,E-6 是乘數,是10^-6。
⑶ 半導體設備有哪些種類
一、分立器件
1、 二極體
A、一般整流用
B、高速整流用:
①FRD(Aast Recovery Diode:高速恢復二極體)
②HED(Figh Efficiency Diode:高速高效整流二極體)
③SBD(Schottky Barrier Diode:肖特基勢壘二極體)
C、定壓二極體(齊納二極體)
D、高頻二極體
①變容二極體
②PIN二極體
③穿透二極體
④崩潰二極體/甘恩二極體/驟斷變容二極體
2、 晶體管
①雙極晶體管
②FET(Fidld Effect Transistor:場效應管)
Ⅰ、接合型FET
Ⅱ、MOSFET
③IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor:絕緣柵雙極晶體管)
3、 晶閘管
①SCR(Sillicon Controllde Rectifier:硅控整流器)/三端雙向可控硅
②GTO(Gate Turn off Thyristor:柵極光閉晶閘管)
③LTT(Light Triggered Thyristor:光觸發晶閘管)
二、光電半導體
1、LED(Light Emitting Diode:發光二極體)
2、激光半導體
3、受光器件
①光電二極體(Photo Diode)/太陽能電池(Sola Cell)
②光電晶體管(Photo Transistor)
③CCD圖像感測器(Charge Coupled Device:電荷耦合器)
④CMOS圖像感測器(complementary Metal Oxide Semiconctor:互補型金屬氧化膜半導體)
4、光耦(photo Relay)
①光繼電器(photo Relay)
②光斷路器(photo Interrupter)
5、光通訊用器件
三、邏輯IC
1、通用邏輯IC
2、微處理器(Micro Processor)
①CISC(Complex Instruction Set Computer:復雜命令集計算機)
②RISC(Reced instruction SET Computer:縮小命令集計算機)
3、DSP(Digital Signal processor:數字信號處理器件)
4、AASIC(Application Specific integrated Circuit:特殊用途IC)
①柵陳列(Gate-Array Device)
②SC(Standard Cell:標准器件)
③FPLD(Field programmable Logic Device:現場可編程化邏輯裝置)
5、MPR(Microcomputer peripheral:微型計算機外圍LSI)
6、系統LSI(System LSI)
四、模擬IC(以及模擬數字混成IC)
1、電源用IC
2、運算放大器(OP具Amp)
3、AD、DA轉換器(AD DA Converter)
4、顯示器用驅動器IC(Display Driver IC)
五、存儲器
1、DRAM(Dynamic Random Access Memory:動態隨機存取存儲器)
2、SRAM(Static Random Access Memory:靜態隨機存取儲器)
3、快閃式存儲器(Flash Memory)
4、掩模ROM(mask Memory)
5、FeRAM(Ferroelectric Random Access Memory:強介電質存儲器)
6、MRAM(Magnetic Random Access Memory:磁性體存儲器)
⑷ 半導體行業有真空設備嗎 他們是怎麼測量真空的,用什麼儀表
主要是用真空規,一般前級真空一個,本底和工藝監控各一個,都選的是進口的真空計,皮拉尼、熱電離規、電容薄膜規,品牌主要為瑞士Inficon或美國MKS
⑸ 半導體是什麼
半導體
鍺、硅、硒、砷化鎵及許多金屬氧化物和金屬硫化物等物體,它們的導電能力回介於導體和絕答緣體之間,叫做半導體。
半導體具有一些特殊性質。如利用半導體的電阻率與溫度的關系可製成自動控制用的熱敏元件(熱敏電阻);利用它的光敏特性可製成自動控制用的光敏元件,像光電池、光電管和光敏電阻等。
半導體還有一個最重要的性質,如果在純凈的半導體物質中適當地摻入微量雜質測其導電能力將會成百萬倍地增加。利用這一特性可製造各種不同用途的半導體器件,如半導體二極體、三極體等。
把一塊半導體的一邊製成P型區,另一邊製成N型區,則在交界處附近形成一個具有特殊性能的薄層,一般稱此薄層為PN結。圖中上部分為P型半導體和N型半導體界面兩邊載流子的擴散作用(用黑色箭頭表示)。中間部分為PN結的形成過程,示意載流子的擴散作用大於漂移作用(用藍色箭頭表示,紅色箭頭表示內建電場的方向)。下邊部分為PN結的形成。表示擴散作用和漂移作用的動態平衡。
⑹ 請問半導體製造過程中那些環節需要真空設備
需要用的地方主要有蒸發,濺射,PECVD,干法刻蝕等,望採納
⑺ 什麼是真空系統
真空系統。是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。目前,該系統廣泛應用於電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
該真空系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程式控制制介面等。只需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統。該真空系統的控制系統由先進的PLC控制系統經過編程後組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
特點
真空系統自啟動後,全部運行過程可以實現全自動控制。在工作中,真空系統 內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內上下波動,其波動范圍可根據用戶要求進行調整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空系統能達到最佳流程工藝
第一台真空泵啟動後達不到設定所需真空時第二台真空泵啟動至達到設定的真空值。當達到所需設定值後第一台真空泵停止接著第二台真空泵停止循環工作。我司的真空系統可在無人操作情況下對系統進行自動控制,在停電時可自動封閉真空系統。同時控制箱可以保護真空泵馬達過載及短路。
工作原理
啟動系統,主真空泵組開始工作,直到真空罐內真空度達到設定的上限值,真空泵自動停止運行,中央真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降並低於設定的下限值時,備用真空泵組自動啟動。由此循環往復,真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源,滿足生產的要求。
應用行業
應用行業:電工、紡織、CNC雕刻機、真空成型機、折頁機、爆光機、計算機、半導體運用、線路板、電池、電容、裝訂機、照相製版機、冷凍空調製程真空、包裝機、變壓器、光學鏡片、自動注型、聚氨脂工藝、標簽粘貼機、曬版機、線路板機真空升降機、真空吸盤、印刷機、VCD&DVD光碟表面真空濺鍍、工業爐、冶煉和熱處理、金屬真空鍍膜、真空焊接、電子束焊等、真空鍍膜、真空干焊、真空包裝工業、空間模擬、科研領域、醫院負壓系統、環保工業、電子工業、實驗室、塑膠工業、一般機機械、玻璃、大理石、金屬大型重物真空搬運等工業。
⑻ 什麼是半導體設備
半導體設備即為抄利用半導體元件制襲造的電氣設備。
半導體,指常溫下導電性能介於導體與絕緣體之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極體就是採用半導體製作的器件。半導體是指一種導電性可受控制,范圍可從絕緣體至導體之間的材料。
半導體設備有激光打標機,激光噴碼機,包裝機,純水機等等
半導體材料分類半導體材料按化學成分和內部結構,大致可分為以下幾類:
化合物半導體由兩種或兩種以上的元素化合而成的半導體材料。
無定形半導體材料 用作半導體的玻璃是一種非晶體無定形半導體材料,分為氧化物玻璃和非氧化物玻璃兩種。
元素半導體有鍺、硅、硒、硼、碲、銻等。
有機增導體材料已知的有機半導體材料有幾十種,包括萘、蒽、聚丙烯腈、酞菁和一些芳香族化合物等,目前尚未得到應用 。
⑼ 做半導體器件的設備是什麼設備
生產三極體的設備可能有MOCVD,光刻機,離子注入,金絲球焊機,封帽機,測試版設備等。
這些設權備大多是自動化設備,尤其是MOCVD和離子注入。控制部分是PLC+數字電路,非常復雜。其他的設備電路部分常見的是數字電路控制。但也不排除簡單的PLC。
⑽ 什麼是半導體呢或者半導體設備
導電性能介於導體與絕緣體之間的材料,叫做半導體.
例如:鍺、硅、砷化鎵等.
半導體在科學技術,工農業生產和生活中有著廣泛的應用.(例如:
電視、半導體收音機、電子計算機等)這是什麼原因呢?下面介紹它
所具有的特殊的電學性能.
(2)半導體的一些電學特性
①壓敏性:有的半導體在受到壓力後電阻發生較大的變化.
用途:製成壓敏元件,接入電路,測出電流變化,以確定壓力的變化.
②熱敏性:有的半導體在受熱後電阻隨溫度升高而迅速減小.
用途:製成熱敏電阻,用來測量很小范圍內的溫度變化.
當你提起電話與遠在天邊的朋友侃侃而談,交換著許多重要的和不重要的消息時,當你打開電腦去網上沖浪,貪婪地吸吮著各種有價值和沒價值的信息時,半導體激光器、探測器、調制器、和光放大器等正默默地為你充當著忠實的信使;當你把光碟放進各種五花八門的機器中時,半導體激光器和探測器正作為你勤勞的僕人不厭其煩地取出那張塑料片上的信息,把它變成你想欣賞的電影、音樂和其他你想要的東西。人造衛星遨遊在太空中,半導體紅外探測器是它的千里眼,半導體太陽能電池為它提供著用之不竭的能源;我們眼前的五顏六色的世界也有半導體發光二極體的一份功勞。半導體光電器件的大家族中包含許多成員,他們有的能把電變成光,也有的能把光變成電,還有的能對光和電的信號進行各種處理和放大。半導體光電器件的工作波長是和製作器件所用的半導體材料的種類相關的。半導體材料中存在著導帶和價帶,導帶上面可以讓電子自由運動,而價帶下面可以讓空穴自由運動,導帶和價帶之間隔著一條禁帶,當電子吸收了光的能量從價帶跳躍到導帶中去時,就把光的能量變成了電,而帶有電能的電子從導帶跳回價帶,又可以把電的能量變成光,這時材料禁帶的寬度就決定了光電器件的工作波長。材料科學的發展使我們能採用能帶工程對半導體材料的能帶進行各種精巧的裁剪,使之能滿足我們的各種需要並為我們做更多的事情,也能使半導體光電器件的工作波長突破材料禁帶寬度的限制擴展到更寬的范圍。半導體光電器件已經為我們做了很多,它還能為我們做些什麼呢?