無塵室半導體是什麼
① 無塵室有哪些等級標准主要適用於哪些行業
無塵車間可復以分為以下幾個制級別:
1級這個級別的潔凈室主要用於製造集成電路的微電子工 業,對集成電路的精確要求為亞微米。
10級這個級別的潔凈室主要用於帶寬小於2微米的半導體工業。
100級很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級無塵車間稱為無菌室,以說明「無菌」的或「無塵」的環境要求,100級無塵室可用於醫葯工業的無菌製造工藝等,這一無塵車間大量應用於,植如體內物品的製造,外科手術,包括移植手術,集成器的製造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術後的隔離治療。
1000級這個級別的潔凈室主要用於高質量光學產品的生產,還用於測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。
10000級萬級無塵車間用於液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用於食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。
100000級 十萬級潔凈室用於很多的工業部門,比如光學產品的製造,用於較小的元器件製造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的製造,食品飲料的生產,醫、葯工業也常常使用這一級無塵車間。
② 電子無塵車間的意義是什麼為什麼要做無塵車間
無塵車間即無塵室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,並將室內之溫度、潔凈度、
室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在
之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
主要應用於電子、半導體、食品、印刷包裝等行業等行業。隨著社會的發展越來越多的行業也需要無塵車間凈化工程。
生產工藝的需要,與生產設備,生產環境密切相關,主要優點如下:
1.要防止有灰塵,空氣中有很多漂浮的灰塵
2.防止體屑毛發等掉落到產品上,嚴格的需要帶手套,這樣才能保證產品質量,
3.防止靜電
無塵車間安裝與使用
1>裝配式潔凈廠房的全部維修構件在工廠內按統一模數及系列加工完成,適於批量生產,質量穩定,供貨迅速。
2>機動靈活,即適合在新建廠房配套安裝,也適宜老廠房的凈化技術改造。維修結構也可隨工藝要求任意組合,拆卸方便。
3>需要輔助建築面積較小,對土建築裝修要求低。
4>氣流組織形式靈活,合理,可滿足各種工作環境,不同潔凈等級的需要。
無塵車間屬高科技術,無塵車間設計施工的好壞影響到後期產品的製作,而產品製作的好壞也直接關繫到我們的健康生活。因此找一家好的無塵車間尤為重要。 無塵車間即無塵室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,並將室內之溫度、潔凈度、
室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在
之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
主要應用於電子、半導體、食品、印刷包裝等行業等行業。隨著社會的發展越來越多的行業也需要無塵車間凈化工程。
生產工藝的需要,與生產設備,生產環境密切相關,主要優點如下:
1.要防止有灰塵,空氣中有很多漂浮的灰塵
2.防止體屑毛發等掉落到產品上,嚴格的需要帶手套,這樣才能保證產品質量,
3.防止靜電
無塵車間安裝與使用
1>裝配式潔凈廠房的全部維修構件在工廠內按統一模數及系列加工完成,適於批量生產,質量穩定,供貨迅速。
2>機動靈活,即適合在新建廠房配套安裝,也適宜老廠房的凈化技術改造。維修結構也可隨工藝要求任意組合,拆卸方便。
3>需要輔助建築面積較小,對土建築裝修要求低。
4>氣流組織形式靈活,合理,可滿足各種工作環境,不同潔凈等級的需要。
無塵車間屬高科技術,無塵車間設計施工的好壞影響到後期產品的製作,而產品製作的好壞也直接關繫到我們的健康生活。因此找一家好的無塵車間尤為重要。
③ 半導體潔凈室
半導體無塵室安全工作規范
一、無塵室須知
進入無塵室前,必須知會管理人,並通過基本訓練
2.進入無塵室嚴禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報章,雜志,鉛筆...等)不可攜入,並嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。
3.進入無塵室前,需在規定之處所脫鞋,將鞋置於鞋櫃內,外衣置於衣櫃內,私人物品置於私人櫃內,櫃內不可放置食物。
4.進入無塵室須先在更衣室,將口罩,無塵帽,無塵衣以及鞋套按規定依程序穿戴整齊,再經空氣洗塵室洗塵,並踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進入。
5.戴口罩時,應將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時污染晶元。
6. 穿著無塵衣,無塵帽前應顯畸理服裝以及頭發,以免著上無塵衣後,不得整理又感不適。
7. 整肅儀容後,先戴無塵帽,無塵帽的穿戴原則是
(1)頭發必須完全覆蓋在帽內,不得外露。
(2)無塵帽之下擺要平散於兩肩之上,穿上工作衣後,方不致下擺脫出,裸露肩頸部。
8.無塵帽戴妥後,再著無塵衣,無塵衣應尺吋合宜,才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞,穿衣時應注意帽之下擺應保平整之狀態,無塵衣不可反穿。
9.穿著無塵衣後,才著鞋套,拉上鞋套並將鞋套整平,確實蓋在褲管之上。
10戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染),戴上手套後,應將手套之手腕置於衣袖內,以隔絕污染源。
11.無塵衣著妥後,經洗塵,並踩踏除塵毯,方得進入無塵室。
12. 不論進入或離開無塵室,須按規定在更衣室脫無塵衣,不可在其它區域為之,尤不可在無塵室內邊走邊脫。
13. 無塵衣,鞋套等,應定期清洗,有破損,脫線時,應即換新。
14. 脫下無塵衣時,其順序與穿著時相反。
15. 脫下之無塵衣應吊好,並放於更衣室內上層櫃子中;鞋套應放置於吊好的無塵衣下方。
16. 更衣室內小櫃中,除了放置無塵衣等規定物品外,不得放置其它物品。
17. 除規定紙張及物品外,其它物品一概不得攜入無塵室。
18。無塵衣等不得攜出無塵室,用畢放置於規定處所。
19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復使用。
20. 任何東西進入無塵室,必須用灑精擦拭乾凈。
21. 任何設備的進入,請知會管理人,在無塵室外擦拭乾凈,方可進入。
22. 未通過考核之儀器,禁止使用,若遇緊急情況,得依緊急處理步驟作適當處理,例如關閉水、電、氣體等開關。
23.無塵室內絕對不可動火,以免發生意外。
二、無塵室操作須知
1.處理晶元時,必須戴上無纖維手套,使用清洗過的干凈鑷子挾持晶元,請勿以手指或其它任何東西接觸晶元,遭碰觸污染過的晶元須經清洗,方得繼續使用:
(1)任何一支鑷子前端(即挾持晶元端)如被碰觸過,或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
(2) 晶元清洗後進行下一程序前,若被手指碰觸過,必須重新清洗。
(3) 把晶元放置於石英舟上,准備進爐管時,若發現所用鑷子有污損現象或晶元上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將晶元重新清洗,並立即更換干凈的鑷子使用。
2. 晶元必須放置盒中,蓋起來存放於規定位置,盡可能不讓它暴露。
3.避免在晶元上談話,以防止唾液濺於晶元上,在晶元進擴散爐前,請特別注意,防止上述動作產生,若晶元上沾有纖維屑時,用氮氣槍噴之。
4. 從石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上,取出晶元時,必須垂直向上挾起,避免刮傷晶元,顯微鏡鏡頭確已離晶元,方可從吸座上移走晶元。
5. 晶元上,若已長上氧化層,在送黃光室前切勿用鑽石刀在晶元上刻記。
6. 操作時,不論是否戴上手套,手絕不能放進清洗水槽。
7.使用化學站或烤箱處理晶元時,務必將晶元置放入晶舟內,不可使用塑料盒。
8.擺置晶元於石英舟時,若晶元掉落地上或手中則必須重新清洗晶元,然後再進氧化爐。
9. 請勿觸摸晶元盒內部,如被碰觸或有碎晶元污染,必須重作清洗。
10.手套,廢紙及其它雜碎東西,請勿留置於操作台,手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。
11.非經指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。
12. 奇怪的味道或反應異常的溶液,顏色,聲響等請即通知相關人員。
13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時,務必立刻告知負責人員或老師。
14. 晶元盒進出無塵室須保持干凈,並以保鮮膜封裝,違者不得進入。
15. 無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。三、黃光區操作須知
1.濕度及溫度會影響對准工作,在黃光區應注意溫度及濕度,並應減少對准機附近的人,以減少濕、溫度的變化。2. 上妥光阻尚未曝光完成之晶元,不得攜出黃光區以免感光.
3.己上妥光阻,而在等待對准曝光之晶元,應放置於不透明之藍黑色晶盒之內, 盒蓋必須蓋妥。
4. 光罩使用時應持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣槍吹之。
④ 無錫華潤上華半導體有限公司無塵室對身體有害嗎
半導體生產車間都抄是無塵室,這沒什麼好糾結的;
而且,很多生物、制葯、食品工廠的車間,也是無塵室,只不過是凈化等級不一樣罷了。
無塵室本身對於人體來說,沒有害處,只不過:
1、長期在無塵室這樣相對恆溫恆濕的空間內工作,會導致人體的免疫能力有所下降;
(就像那些整天吹空調的人,容易感冒一樣,相信這個解釋 你應該懂得)
2、另外,就是半導體生產車間裡面的機器、產品、材料,有些存在對人體的危害:
(1)激光、輻射;
(2)化學品;
(3)有害氣體。
⑤ 半導體為什麼要採用無塵空間。在此車間工作有輻射嘛
本人是半導體工藝工程師
採用無塵空間,以及工人穿凈化服是為了保證回工作環境的顆粒以及溫度答,濕度達標,任何的顆粒以及溫度濕度的不達標都有可能影響製造器件的工作性能以及可靠性
很負責任地告訴你部分工種是有輻射的!
最嚴重的事離子注入(半年體檢一次,別的工種1年體檢一次),因為有有害離子激發
光刻其實就和印照片的地方一樣,黃光區域也有一定輻射
其他部門稍微輕微,但是製造廠里一般設備擺放比較密集,有些輻射你即使不在此部門工作也有可能受到,當然很輕微,所以凈化服也有一定的防輻射作用,一般來說工作的安全還是可以得到保障的
⑥ 無塵車間等級劃分
依據美國政府頒布的標准,可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級:
1級這個級別的無塵車間主要是用來製造一些集成電路的微電子工業,而相對於集成電路的精確要求是亞微米。
10級本級別的潔凈室最主要是來加工寬少於2微米的半導體工業。
100級很多人都覺得100級的無塵車間是最常用的,也是最重要的,人們錯誤的認為100級的潔凈室,是為了說明無菌環境的要求比較高。一般來說100級的無塵室是用來對於醫葯工業的無菌製造,大程度上用在外科手術上,就像它可以用在骨髓移植病人術後的隔離治療。
1000級一般用來生產比較高質量的光學產品。
10000級萬級無塵車間很大程度上是用來對液壓設備或者是積壓設備的裝配。當然,在有些時候也會用在食品飲料工業,同時在醫工業也很常見。
100000十萬級的無塵車間,在很多工業部門都會用到,就像在製造光學產品的時候,有時候也用在比較小的元器件的製造。當然,食品飲料的加工,醫葯工業的生產也會用到這一級的無塵車間。
拓展資料
所謂的無塵車間是一個人造的環境,裡面含有的粒子遠低於一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對製造環境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小於1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。 由於奈米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使晶元失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路製造不可或缺的要素。
越排在前面,級別越高,1級是級別最高的,最常見的是百級到十萬級。無塵車間的使用要求:保持無塵車間的潔凈度,進出的人員有一定的穿著規定;10000與100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,並帶上手套和面罩。
⑦ 無塵車間等級是如何劃分的
1、1級:級的無塵車間主要用於製造集成電路的微電子工業,對集成電路的精確要求為亞微米。
2、10級: 十級的無塵車間主要用於帶寬小於2微米的半導體工業。
3、100級:百級無塵車間並非無菌室,百級無塵車間對「無菌」的或「無塵」的環境要嚴格,100級無塵室可用於醫葯工業的無菌製造工藝等,這一無塵車間大量應用於植如體內物品的製造,外科手術,包括移植手術,集成器的製造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,如像骨髓移植病人術後的隔離治療。
4、1000級:千級的無塵車間主要用於高質量光學產品的生產,還用於測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。
5、10000級:萬級無塵車間用於液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用於食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。
6、100000級:十萬級無塵車間用於很多的工業部門,比如光學產品的製造,用於較小的元器件製造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的製造,食品飲料的生產,醫、葯工業也常常使用這一級無塵車間。
7、300000級別:三十萬級無塵車間級別較低,用於普通潔凈區,如級別不高的走道。
(7)無塵室半導體是什麼擴展閱讀:
1、選址原則:無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節省投資和經營費用的原則。廠址應設在自然環境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利於生產、節能的區域,應遠離大量散發粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,並在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主幹道間距宜50米以上 。
2、動線規劃要點:要檢討分析人車路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業的流程等,盡量縮短動線,並避免交叉,以防止交叉污染。作業者、化學葯品、材料等動線勿集中;無塵車間四周,宜設緩沖區;製造裝置的出入,不要對作業產生大影響。
3、有些空氣凈化系統的空氣,如經處理仍不能避免交叉污染時,則不能循環使用:固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機溶媒精製的原料葯精製、乾燥工序;放射性葯品生產區;病原體操作區;工藝過程中產生大量有害物質、揮發性氣體的生產工序;固體口服制劑的顆料
4、節能原則:無塵車間里存在大量可以節約能源的地方,例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片製造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧後期運行費用。
⑧ 無塵車間(潔凈室)是依據什麼劃分凈化等級
無塵車間(潔凈室)等級大體可以分為十萬級、萬級、千級、百版級、十級。數字越小,潔權凈等級越高。
10級的潔凈室凈化工程主要用於帶寬小於2微米的半導體工業。百級潔凈室可用於醫葯工業的無菌製造工藝等,這一潔凈室凈化工程大量應用於,手術室,包括移植手術,集成器的製造、隔離病房等等。
(8)無塵室半導體是什麼擴展閱讀:
注意事項:
注意控制污染源,主要是人和進入無塵車間的物品,以及生產過程中發生的塵粒。
人凈路線和物凈路線要合理的分開。人員在進車間前沐浴更衣,著裝符合潔凈標准;物料在進車間前更換包裝吹淋,確保潔凈度符合要求。
無塵凈化車間內的作業人員要嚴格按照無塵室的操作規則進行工作。門窗應處於關閉狀態,車間之間人員和物品的傳遞應有緩沖區,並設置吹林設備來阻止氣流的對流,與生產無關的人員不行進入無塵車間。
⑨ 無塵室的用途是什麼
無塵室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,並將室內的溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。
無塵室又分為工業無塵室和生物無塵室。
工業無塵室以無生命微粒的控制為對象,主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。主要適用於精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)、宇航工業、高純度化學工業、原理能工業、光磁產品工業(光碟、膠片、磁帶生產等)、lcd(液晶玻璃)、電腦硬碟、電腦磁頭生產等多個行業。
生物無塵室主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
A、 一般生物無塵室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業無塵室。例:制葯工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全無塵室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)
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