半導體robot是什麼

㈠ 半導體設備中Aligner和robot有國產的嗎各是幾個自由度

Aligner主要有抄3個和4個自由度的，X、Y、旋轉三個自由度必須有，Z可以沒有。主要工作對象是6、8、12英寸的Wafer預定位用。Robot相對復雜一些，只要是one hand和Dual hand(Arm)。非SCARA型是主流，用得多的意思，造價也低。基本是三個自由度，個別也有四個的。可以學習上海微松工業自動化的網站。