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半導體中8英寸particle多少

發布時間: 2021-01-09 18:00:38

半導體廠,氣體管道測試。為什麼要做h2o. O2. Particle的測試。

額……在我的印象中,我們單位改造管路後用氦檢儀簡漏。測試露點。
其餘的交給設備需要用氣體的設備自己檢測了。沒進行全管路的測試。
我也等其他人的回答,看看專業人士解釋一下應該怎樣檢查管路。

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