半導體RTP是什麼縮寫
發布時間: 2021-01-21 09:19:53
A. 半導體GaN圓片在RTP快速熱退火後SiN膜破裂原因
1、主要懷疑溫度異常,可以做溫度窗口實驗再現確定一下。
2、襯底異常,缺陷密度影響到SIN應力。
B. rtp-6000快速退火裝置前面的數字什麼意思
激光退火技術抄開始主要用襲於修復離子注入損傷的半導體材料,特別是硅.傳統的加熱退火技術是把整個工件放在真空爐中,在一定的溫度(300°~1200℃)保溫退火10~60min。
可控硅又叫晶閘管,是晶體閘流管(Thyristor)的簡稱,俗稱可控硅,指的是具有四層交錯P、N層的半導體裝置。最早出現的一種是硅控整流器(Silicon Controlled Rectifier,SCR),中國大陸通常簡稱可控硅,又稱半導體控制整流器,是一種具有三個PN結的功率型半導體器件,為第一代半導體電力電子器件的代表。晶閘管的特點是具有可控的單向導電,即與一般的二極體相比,可以對導通電流進行控制。晶閘管具有以小電流(電壓)控制大電流(電壓)作用,並體積小、輕、功耗低、效率高、開關迅速等優點,廣泛用於無觸點開關、可控整流、逆變、調光、調壓、調速等方面。
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