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半导体中8英寸particle多少

发布时间: 2021-01-09 18:00:38

半导体厂,气体管道测试。为什么要做h2o. O2. Particle的测试。

额……在我的印象中,我们单位改造管路后用氦检仪简漏。测试露点。
其余的交给设备需要用气体的设备自己检测了。没进行全管路的测试。
我也等其他人的回答,看看专业人士解释一下应该怎样检查管路。

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